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 Shape tuning of large area silicon nanotip arrays through reactive ion etching 相关领域
材料科学
反应离子刻蚀
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期刊：Journal of vacuum science and technology 作者：Giridhar Tulasi Ram Sankabathula; Srujana Valluri; Nick Norden; Stephen Binderup; Anirudha V. Sumant; et al 出版日期：2023-12-01 |
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