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MECHANISMS OF SIO2 ETCHING : AB INITIO CALCULATIONS ON THE REACTIONS OF CFM- (M = 3-1) AND NFN- (N = 2, 1) IONS WITH LOCAL SURFACE MODELS
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DOI
10.1021/jp970450m doi
其它 期刊:Journal of Physical Chemistry B
作者:A. Jenichen
出版日期:1997-07-01
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