From Low-k to Ultralow-k Thin-Film Deposition by Organosilicon Glow Discharges

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标题	From Low-k to Ultralow-k Thin-Film Deposition by Organosilicon Glow Discharges
网址	http://dx.doi.org/10.1149/1.2192729
DOI	10.1149/1.2192729 doi
其它	期刊：Journal of The Electrochemical Society 作者：Antonella Milella; James L. Delattre; Fabio Palumbo; Francesco Fracassi; Riccardo d’Agostino 出版日期：2006-01-01
求助人	LY 在 2026-10-24 14:37:32 发布自中国香港，悬赏 10 积分
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