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  Optical properties of AlN thin films grown by plasma enhanced atomic layer deposition 等离子体增强原子层沉积AlN薄膜的光学性质
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Mustafa Alevli; Çağla Özgit-Akgün; İnci Dönmez; Necmi Bıyıklı 出版日期：2012-02-17 |
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