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Electromechanical properties of Al0.9Sc0.1N thin films evaluated at 2.5 GHz film bulk acoustic resonators 相关领域
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期刊:Applied Physics Letters 作者:Ramin Matloub; Alvaro Artieda; C.S. Sandu; Evgeny Milyutin; Paul Muralt 出版日期:2011-08-29 |
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