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P‐7.14: Adjustment of etch performance and Vth by Mo thickness of Mo‐Al‐Mo gate electrode in ADS Pro TFT P-7.14:ADS Pro TFT中Mo-Al-Mo栅电极的Mo厚度对蚀刻性能和Vth的调节
相关领域
电极
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材料科学
光电子学
电气工程
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物理化学
图层(电子)
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