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标题
Polishing and Surface Characterization of SiC Substrates
SiC衬底的抛光和表面表征
相关领域
材料科学 抛光 表征(材料科学) 曲面(拓扑) 冶金 纳米技术 几何学 数学
网址
DOI
10.4028/www.scientific.net/msf.338-342.837 doi
其它 期刊:Materials science forum
作者:W.J. Everson; David W. Snyder; V.D. Heydemann
出版日期:2000-05-10
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害怕的乐天 在 2025-07-10 06:16:38 发布自江苏,悬赏 30 积分
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