Highly tunable airflow velocity MEMS sensor based on resonant frequency monitoring

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标题	Highly tunable airflow velocity MEMS sensor based on resonant frequency monitoring
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S026322412...
DOI	10.1016/j.measurement.2025.120009 doi
其它	期刊：Measurement 作者：Ivan Litvinov; Maxim Drizovsky; Gal Spaer Milo; Alex Liberzon; Slava Krylov 出版日期：2025-12-07
求助人	诚心忆文在 2026-03-17 17:28:14 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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