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标题
STRUCTURE AND OPTICAL PROPERTIES OF HIGH-RATE LOW-TEMPERATURE GROWN TiO<SUB>2</SUB> THIN FILMS BY REACTIVE MAGNETRON SPUTTERING
相关领域
材料科学 薄膜 溅射 溅射沉积 高功率脉冲磁控溅射 光电子学 腔磁控管 化学工程 纳米技术 工程类
网址
DOI
10.3724/sp.j.1037.2009.00480 doi
其它 期刊:ACTA METALLURGICA SINICA
作者:Zhuguo Li; Shoji Miyake
出版日期:2010-02-02
求助人
哈哈 在 2025-10-28 15:17:08 发布自广西,悬赏 10 积分
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