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STRUCTURE AND OPTICAL PROPERTIES OF HIGH-RATE LOW-TEMPERATURE GROWN TiO<SUB>2</SUB> THIN FILMS BY REACTIVE MAGNETRON SPUTTERING 相关领域
材料科学
薄膜
溅射
溅射沉积
高功率脉冲磁控溅射
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腔磁控管
化学工程
纳米技术
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期刊:ACTA METALLURGICA SINICA 作者:Zhuguo Li; Shoji Miyake 出版日期:2010-02-02 |
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