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 Investigation of MEMS Piezoresistive Pressure Sensor with a Freely Supported Rectangular Silicon Carbide Diaphragm as a Primary Sensing Element for Altitudinal Applications 以自由支撑矩形碳化硅膜片为主要传感元件的MEMS压阻压力传感器的研究
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期刊：Silicon 作者：Dadasikandar Kanekal; Sumit Kumar Jindal 出版日期：2022-10-06 |
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