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 Characterization of CF/sub 4/ plasma induced damage during dry ashing and residue removal process CF/sub 4/等离子体在干灰化和残渣去除过程中的损伤表征
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期刊： 作者：L.S. Wang; Piaopiao Wei; Ting‐Shan Chan; Ya-Hui Chang; Chi-Fu Yen; et al 出版日期：2002-11-13 |
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