Fabrication of heater‐integrated MEMS tactile sensor for evaluation of warm and cold sensation by touching glass

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标题	Fabrication of heater‐integrated MEMS tactile sensor for evaluation of warm and cold sensation by touching glass 相关领域制作材料科学微电子机械系统触觉传感器导电体弹性体触觉显示器复合材料光电子学声学计算机科学医学机器人物理人工智能病理替代医学
网址	https://doi.org/10.1002/eej.23370
DOI	10.1002/eej.23370 doi
其它	期刊：Electrical Engineering in Japan 作者：Naotaka Onda; Takaaki Kozuka; Takashi Abe; Masanobu Isshiki; Satoru Tomeno; et al 出版日期：2022-02-21
求助人	oli 在 2026-01-08 17:36:26 发布自贵州，悬赏 10 积分
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