Nanosecond laser-assisted efficient chemical mechanical polishing of GaN wafers in hydrogen peroxide medium at atomic scale

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标题	Nanosecond laser-assisted efficient chemical mechanical polishing of GaN wafers in hydrogen peroxide medium at atomic scale
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S003039922...
DOI	10.1016/j.optlastec.2026.116507 doi
其它	期刊：Optics & Laser Technology 作者：Haojie Guo; Zirui Wang; Kunpeng Guan; Yongguang Wang; Xu Zhong; et al 出版日期：2026-09-25
求助人	欢喜的雁枫在 2026-10-09 10:23:59 发布自中国，悬赏 10 积分
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