Bandwidth enhancement in hexagonal M-plane InGaN/GaN MQW micro-photodetectors via TMAH sidewall treatment

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标题	Bandwidth enhancement in hexagonal M-plane InGaN/GaN MQW micro-photodetectors via TMAH sidewall treatment 相关领域四甲基氢氧化铵材料科学光电子学带宽（计算）热稳定性六方晶系响应度抵抗热的激光器泄漏（经济）各向异性俘获微透镜蚀刻（微加工）干法蚀刻量子效率宽禁带半导体退火（玻璃）制作小丘反向偏压波段图轮廓仪四甲基铵傅里叶变换红外光谱
网址	https://pubs.aip.org/aip/apl/article-pdf/doi/10.1063/5.03249...
DOI	10.1063/5.0324924 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：Hao-Wen Hua; Peng Zhang; Meng-Yang Huang; Ying Gu; Yi Gong; et al 出版日期：2026-04-06
求助人	lxq 在 2026-10-27 10:45:37 发布自江苏，悬赏 10 积分
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