Development of a pH-independent Post-CMP Cleaning Solution using Phosphoric Acid-based Surfactants for Removal of Ceria Nanoparticles

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标题	Development of a pH-independent Post-CMP Cleaning Solution using Phosphoric Acid-based Surfactants for Removal of Ceria Nanoparticles
网址	https://iopscience.iop.org/article/10.1149/2162-8777/ace794
DOI	10.1149/2162-8777/ace794 doi
其它	期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者：Kyong Kyu Myong; Jinuk Byun; Jiseok Lee; Taeho Lim; Jae Jeong Kim 出版日期：2023-07-15
求助人	xyuyulul 在 2026-07-31 16:48:52 发布自湖南，悬赏 10 积分
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