Design, Fabrication, and Characterization of a Micro Coriolis Mass Flow Sensor Driven by PZT Thin Film Actuators - 科研通

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标题	Design, Fabrication, and Characterization of a Micro Coriolis Mass Flow Sensor Driven by PZT Thin Film Actuators
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/84/9631140/09528371.pdf?...
DOI	10.1109/jmems.2021.3107744 doi
其它	期刊：Journal of Microelectromechanical Systems 作者：Yaxiang Zeng; Jarno Groenesteijn; Dennis Alveringh; Remco J. Wiegerink; Joost C. Lotters 出版日期：2021-09-04
求助人	chenjiaqi 在 2026-09-15 20:54:50 发布自浙江，悬赏 10 积分
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