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标题
Yttrium-doped aluminum nitride ceramics for dielectric layers in Johnsen-Rahbek (J-R) type electrostatic chucks
网址
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S027288422...
DOI
10.1016/j.ceramint.2025.09.211 doi
其它 期刊：Ceramics International
作者：Nianying Zhou; Liang Hu; Chenhui Li; Yuefang Peng; Yunxuan Wang; et al
出版日期：2025-09-23
求助人
A莱 在 2026-07-09 23:23:08 发布自广东，悬赏 10 积分
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    星辰大海 星辰大海 Lv11 上传了文件

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  • 5小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    23:23:11 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    23:23:08 科研通AI机器人（新加坡）收到请求，开始寻找文献
    23:23:08 已向机器人发送请求

  • 5小时前

    A莱 A莱 Lv1 求助人 发起了本次求助

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