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 Development of cylinderical cavity type microwave plasma chemical vapor deposition reactor for diamond films deposition 相关领域
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期刊：2013 Abstracts IEEE International Conference on Plasma Science (ICOPS) 作者：Jingjie Su; Yue Li; Yazheng Liu; Minghui Ding; Weizhong Tang 出版日期：2013-06-01 |
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