Mechanistic study of vibration-assisted gradient polishing of silicon wafers with fractal rough surfaces at the nanoscale

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标题	Mechanistic study of vibration-assisted gradient polishing of silicon wafers with fractal rough surfaces at the nanoscale
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.triboint.2026.112337
DOI	10.1016/j.triboint.2026.112337 doi
其它	期刊：Tribology International 作者：Yi Shao; Rui Chen; Yuhang Sun; Gai Zhao; Xiangchuan Wang 出版日期：2026-12-01
求助人	杜faifai 在 2026-07-13 20:27:50 发布自吉林，悬赏 10 积分
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