Low-temperature deposition of α-Al2O3 film using Al+α-Al2O3 composite target by radio frequency magnetron sputtering

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标题	Low-temperature deposition of α-Al2O3 film using Al+α-Al2O3 composite target by radio frequency magnetron sputtering
网址	http://iopscience.iop.org/article/10.1088/2053-1591/ab1c95
DOI	10.1088/2053-1591/ab1c95 doi
其它	期刊：Materials Research Express 作者：Yitian Cheng; Wanqi Qiu; Kesong Zhou; Yu Yang; Dongling Jiao; et al 出版日期：2019-04-26
求助人	zz 在 2026-09-03 16:48:50 发布自浙江，悬赏 10 积分
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