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Optimized parameters selected on the basis of the development defect model
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网址
https://doi.org/10.1117/1.jmm.17.4.043508
DOI
10.1117/1.jmm.17.4.043508 doi
其它 期刊：Journal of Micro/Nanolithography MEMS and MOEMS
作者：Ling Ma; Buqing Xu; Qiang Wu; Lisong Dong; Taian Fan; et al
出版日期：2018-12-20
求助人
rui 在 2025-10-27 11:39:22 发布自四川，悬赏 20 积分
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