Microstructural and tribological study of triode magnetron sputtered V-C coatings: influence of partial pressure of reactive gas

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标题	Microstructural and tribological study of triode magnetron sputtered V-C coatings: influence of partial pressure of reactive gas 相关领域三极管材料科学摩擦学腔磁控管冶金分压高功率脉冲磁控溅射复合材料溅射沉积溅射纳米技术薄膜氧气电压电气工程电容器有机化学化学工程类
网址	https://doi.org/10.1016/0257-8972(92)90173-8
DOI	10.1016/0257-8972(92)90173-8 doi
其它	期刊：Surface and Coatings Technology 作者：M Sainte-Catherine 出版日期：1992-11-16
求助人	yyxyyx 在 2025-10-28 19:41:26 发布自河北，悬赏 10 积分
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