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![]() 电子束退火下电流密度对非晶氧化硅薄膜结构的影响
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期刊:Journal of Applied Mechanics and Technical Physics 作者:Е. А. Баранов; V. A. Nepomnyashchikh; В. О. Константинов; В. Г. Щукин; I. E. Merkulova; et al 出版日期:2023-10-01 |
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