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  High-speed hydrophilic and ashing treatments of polyimide using Ar/O 2 atmospheric-pressure microwave line plasma Ar/O2大气压微波线等离子体对聚酰亚胺的高速亲水和灰化处理
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Haruka Suzuki; Tomohiko Ogasawara; Yuki Iwata; Hansin Bae; Hirotaka Toyoda 出版日期：2022-04-06 |
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