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标题
Combined surface activated bonding (SAB) approach for SiO<inf>2</inf> direct wafer bonding in vacuum
网址
http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/7102535/7110993/07111002...
DOI
10.1109/icep-iaac.2015.7111002 doi
其它 期刊：2015 International Conference on Electronic Packaging and iMAPS All Asia Conference (ICEP-IAAC)
作者：Ran He; Masahisa Fujino; Akira Yamauchi; Tadatomo Suga
出版日期：2015-05-23
求助人
yyy 在 2026-01-29 16:54:48 发布自天津，悬赏 10 积分
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  • 5个月前，求助关闭

    yyy yyy Lv4 求助人 关闭了本次求助。

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  • 5个月前

    yyy yyy Lv4 求助人 发起了本次求助

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