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Effect of beam current on defect formation by high-temperature implantation of Mg ions into GaN 束流对Mg离子高温注入GaN缺陷形成的影响
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期刊:Applied Physics Express 作者:Yuta Itoh; Hirotaka Watanabe; Yuto Ando; Emi Kano; Manato Deki; et al 出版日期:2022-01-05 |
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