Demonstration of spatially programmable chemical vapor deposition: Model-based uniformity∕nonuniformity control

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标题	Demonstration of spatially programmable chemical vapor deposition: Model-based uniformity∕nonuniformity control
网址	https://doi.org/10.1116/1.2359735
DOI	10.1116/1.2359735 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena 作者：Ramaswamy Sreenivasan; Raymond A. Adomaitis; Gary W. Rubloff 出版日期：2006
求助人	韦涔在 2026-03-13 00:41:01 发布自江苏，悬赏 10 积分
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