| 标题 |
The performances of different overlay mark types at 65nm node on 300-mm wafers |
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| DOI |
10.1117/12.598424
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| 其它 |
期刊:SPIE Proceedings 作者:H. T. Tseng; Ling-Chieh Lin; I. H. Huang; Benjamin S. Lin; Chin-Chou K. Huang; et al 出版日期:2005-05-10 |
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(2025-6-4)