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[求助补充材料]
 Preparation of photosensitive polyimides (PSPIs) and their feasible evaluation for lithographic insulation patterns (LIPs) of integrated circuits (ICs) without negative photoresists 相关领域
材料科学
光引发剂
聚酰亚胺
玻璃化转变
单体
光刻胶
复合材料
高分子化学
聚合物
图层（电子）
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| 其它 |
期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Meng‐Hsin Chen; Chiu‐Chun Lai; Hsin‐Lung Chen; Yi‐Hung Lin; Kuan‐Yeh Huang; et al 出版日期：2018-08-14 |
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