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标题
Proximity-effect-related reduction of the minimum element size in thermochemical laser writing
热化学激光写入中与邻近效应相关的最小元件尺寸减小
相关领域
材料科学 激光器 热传导 吸收(声学) 薄膜 光学 还原(数学) 金属 热的 热力学 纳米技术 复合材料 物理 几何学 冶金 数学
网址
DOI
10.1364/jot.89.000312 doi
其它 期刊:Journal of Optical Technology
作者:E. A. Shakhno; Quang D. Nguyen; Dmitry A. Sinev; Vadim P. Veiko
出版日期:2022-06-01
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