Effects of substrate bias voltage on conductivity and internal stress of TiN films

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标题	Effects of substrate bias voltage on conductivity and internal stress of TiN films
网址	求助人暂未提供
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
其它	Gao, Jinming; Xu, Jin; Li, Jinqi; Wang, Mengxiao; Zhou, Dayu ; Effects of substrate bias voltage on conductivity and internal stress of TiN films, MATERIALS RESEARCH BULLETIN, 2024, 179 (期刊论文) ( 本人标注: 唯一通讯作者 )
求助人	wyx912 在 2026-10-22 01:00:05 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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