Modeling the Charging Effect on the Twisting Defects During High Aspect Ratio Etching of Dielectrics

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标题	Modeling the Charging Effect on the Twisting Defects During High Aspect Ratio Etching of Dielectrics
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx8/11017772/11017773/110179...
DOI	10.1109/cstic64481.2025.11017954 doi
其它	期刊：2025 Conference of Science and Technology of Integrated Circuits (CSTIC) 作者：Yuxuan Zhai; Ziyi Hu; Junjie Li; Rui Chen 出版日期：2025-06-04
求助人	111 在 2026-10-26 18:51:28 发布自上海，悬赏 10 积分
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