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 Metalens manufacturing complexities and costs Metalens制造的复杂性和成本
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9 April 2024 Metalens manufacturing complexities and costs Lawrence S. Melvin III, Maryvonne Chalony, Andrew M. C. Dawes, Bernd Kuechler, Rainer Zimmermann, Emilie Viasnoff, Ying Zhou, Al Blais Author Affiliations + Proceedings Volume 12958, Advanced Etch Technology and Process Integration for Nanopatterning XIII; 129580A (2024) https://doi.org/10.1117/12.3010491 Event: SPIE Advanced Lithography + Patterning, 2024, San Jose, California, United States |
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