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 Ion beam processing with an ultra-low energy Ar+ micro-polisher: From fundamental understanding to process optimisation 超低能Ar+微抛光机的离子束加工：从基本理解到工艺优化
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期刊：Applied Surface Science 作者：Patrick Philipp; Grégoire Defoort; Alan Bahm; Tom Wirtz 出版日期：2023-08-06 |
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