Fast and accurate measurement of high aspect ratio MEMS trench array with optical lattice illumination - 科研通

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标题	Fast and accurate measurement of high aspect ratio MEMS trench array with optical lattice illumination
网址	https://www.nature.com/articles/s41378-025-01017-y.pdf
DOI	10.1038/s41378-025-01017-y doi
其它	期刊：Microsystems & Nanoengineering 作者：Xu Li; Xinqi Sui; Dengfeng Kuang 出版日期：2025-08-28
求助人	尊敬的文涛在 2026-08-27 14:52:53 发布自福建，悬赏 10 积分
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