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标题
Effects of EUV multilayer roughness on 2D patterning
网址
https://doi.org/10.1117/12.3012360
DOI
10.1117/12.3012360 doi
其它 期刊：Optical and EUV Nanolithography XXXVII
作者：Luke T. Long; Stuart Sherwin; Ryan Miyakawa; Thomas V. Pistor; Matt Hettermann; et al
出版日期：2024
求助人
dd1015 在 2026-06-17 18:28:49 发布自吉林，悬赏 20 积分
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