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 Dielectric Modulation of Ionization Energetics in Organotin Extreme Ultraviolet Photoresists 相关领域
材料科学
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期刊：ACS Applied Materials & Interfaces 作者：Yiwei Zhou; Haoyu He; Jingbin Li; Chuanfu Ju; Sheng Dai; et al 出版日期：2026-06-10 |
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