Numerical Study of Particle Deposition in Magnetron Sputtering with Electromagnetic Coil

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标题	Numerical Study of Particle Deposition in Magnetron Sputtering with Electromagnetic Coil
网址	https://doi.org/10.11159/enfht25.136
DOI	10.11159/enfht25.136 doi
其它	期刊：World Congress on Momentum, Heat and Mass Transfer 作者：Qiaoru An; Feng Shi; Haisheng Fang 出版日期：2025-04-23
求助人	SUNJJ 在 2026-03-25 16:53:48 发布自中国，悬赏 20 积分
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