Advanced oxidation process combining oxide deposition and short postoxidation step for N-type 3C- and 4H-SiC

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标题	Advanced oxidation process combining oxide deposition and short postoxidation step for N-type 3C- and 4H-SiC
网址	https://doi.org/10.1063/1.3204646
DOI	10.1063/1.3204646 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：R. Esteve; A. Schöner; S. A. Reshanov; C.-M. Zetterling; H. Nagasawa 出版日期：2009
求助人	个性的篮球在 2026-02-25 16:23:15 发布自广东，悬赏 10 积分
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