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Effect of Growth Parameters on the Residual Stress and Dislocation Density of Czochralski-Grown Silicon Crystals 生长参数对直拉法生长硅晶体残余应力和位错密度的影响
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期刊:Journal of Applied Physics 作者:R. O. DeNicola; R. N. Tauber 出版日期:1971-10-01 |
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