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  Etching Chemistry Process Optimization of Ethylene Diluted with Helium (C2H4/He) in Interconnect Integration 氦稀释乙烯（C2H4/He）在互连集成中的蚀刻化学工艺优化
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期刊：Micromachines 作者：Hwa Rim Lee; Eun Su Jung; JinUk Yoo; Tae-Min Choi; Sung Gyu Pyo 出版日期：2024-11-28 |
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