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 Methyl-methacrylate based aluminum hybrid film grown via three-precursor molecular layer deposition 三前体分子层沉积生长甲基丙烯酸甲酯基铝杂化膜
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Solomon T. Oyakhire; Hayrensa Ablat; Nathaniel E. Richey; Stacey F. Bent 出版日期：2022-01-24 |
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