Optimized dose modulation for controlled greyscale electron beam lithography for negative tone resist

已完结

文献求助详情

标题	Optimized dose modulation for controlled greyscale electron beam lithography for negative tone resist 相关领域抵抗电子束光刻灰度材料科学调制（音乐）平版印刷术语调（文学）阴极射线 X射线光刻光学光电子学电子纳米技术物理声学核物理学艺术像素文学类图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2025.163638
DOI	10.1016/j.apsusc.2025.163638 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Olli Ovaskainen; Tianlong Guo; M. Roussey 出版日期：2025-06-01
求助人	王一帆在 2026-03-12 20:18:01 发布自荷兰，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通，让科研之路畅通无阻

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 小手冰凉完成签到，获得积分10

2秒前; 虫子发布了新的文献求助10

3秒前; cdercder的应助被认真映寒采纳，获得10

7秒前; echoabc完成签到，获得积分20

8秒前; 蔡从安发布了新的文献求助10

10秒前; 伶俐书蝶完成签到，获得积分10

10秒前; 彳亍宣完成签到，获得积分10

13秒前; 寒冷的断秋完成签到，获得积分10

17秒前; dream完成签到，获得积分10

19秒前; lemon完成签到，获得积分10

22秒前; CGFHEMAN完成签到，获得积分10

28秒前; LingMg完成签到，获得积分10

46秒前; Copyright的应助被scl采纳，获得10

48秒前; Copyright上传了应助文件

1分钟前; 潇洒的惋清的应助被蔡从安采纳，获得10

1分钟前; Jane的应助被蔡从安采纳，获得10

1分钟前; 科研通AI6.3的应助被XINGR采纳，获得10

1分钟前; yindi1991完成签到，获得积分10

1分钟前; 动听初夏完成签到，获得积分10

1分钟前; 虫子完成签到，获得积分10

1分钟前; huluwa完成签到，获得积分10

1分钟前; 向日葵完成签到，获得积分10

1分钟前; 望向天空的鱼完成签到，获得积分10

1分钟前; XINGR完成签到，获得积分10

1分钟前; ze完成签到，获得积分10

1分钟前; 科研通AI6.4的应助被科研通管家采纳，获得10

1分钟前; cdercder的应助被科研通管家采纳，获得10

1分钟前; 忧虑的静柏完成签到，获得积分10

1分钟前; 单纯的忆安完成签到，获得积分10

1分钟前; 文昊完成签到，获得积分10

1分钟前; Wendy完成签到，获得积分10

1分钟前; rosyw完成签到，获得积分10

2分钟前; Sodagreen2023完成签到，获得积分10

2分钟前; 陈雅玲完成签到，获得积分10

2分钟前; 小许完成签到，获得积分10

2分钟前; 慕青上传了应助文件

2分钟前; gxzsdf完成签到，获得积分10

2分钟前; LIANGMEIHAO发布了新的文献求助20

2分钟前; zhangxiaoqing完成签到，获得积分10

2分钟前; 蔡从安完成签到，获得积分20

2分钟前