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标题
Novel CVD diamond-coated conditioner for improved performance in CMP processes
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DOI
10.1016/j.ijmachtools.2011.02.008 doi
其它 期刊:International Journal of Machine Tools and Manufacture
作者:Youn-Chul Kim; Suk-Joong L. Kang
出版日期:2011-02-24
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Rojar 在 2026-11-04 10:51:17 发布自湖北,悬赏 10 积分
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