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标题
Etch the borosilicate glass to form a straight through-glass-via based on the FLACE technology
网址
https://doi.org/10.1088/1361-6439/ac628e
DOI
10.1088/1361-6439/ac628e doi
其它 期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering
作者：Qianfeng Xu; Dan Fang; Xiaodong Zhang; Yu Chen; Xiaohua Wang; et al
出版日期：2022-03-30
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jxc 在 2026-07-29 17:41:40 发布自上海，悬赏 10 积分
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