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标题
A 2-DOF piezoelectric platform for cross-scale semiconductor inspection
相关领域
压电 半导体 比例（比率） 声学 材料科学 结构工程 工程类 物理 光电子学 量子力学
网址
http://dx.doi.org/10.1016/j.ijmecsci.2024.109765
DOI
10.1016/j.ijmecsci.2024.109765 doi
其它 期刊：International Journal of Mechanical Sciences
作者：Lusheng Yuan; Liang Wang; Rui Qi; Yan Li; Chuangye Liu; et al
出版日期：2024-12-01
求助人
ww 在 2026-08-23 10:39:44 发布自吉林，悬赏 10 积分
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