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标题
Control of Ionization Rates and Energy Distribution of Deposition Particles in Reactive Plasma Deposition Equipment
网址
https://www.semanticscholar.org/paper/ce5cd3e00b511ebc38dba3...
DOI
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其它 期刊：The Japan Society of Applied Physics
作者：H. Kitami
出版日期：2014-02-06
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住在天上很开心 在 2026-09-17 19:37:48 发布自江苏，悬赏 10 积分
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    住在天上很开心 住在天上很开心 Lv11 求助人 发起了本次求助

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