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 Theoretical insights into interfacial-layer control of Fermi-level depinning and dipole engineering for Schottky barrier height reduction in NiSi/Si systems |
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- 标题：Theoretical insights into interfacial-layer control of Fermi-level depinning and dipole engineering for Schottky barrier height reduction in NiSi/Si systems - 期刊：*Journal of Vacuum Science & Technology A* - 年份：2026 - 卷期：44(1), 013202 - DOI：10.1116/6.0003785 - 核心内容：通过插入超薄界面层调控界面偶极矩大小，在传统硅基镍硅化物接触中实现费米能级解钉扎，定量给出了偶极强度与势垒高度的调控关系，为3D体系突破巴丁极限提供了可落地的工程方案。 |
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