Impact of Pulse Parameters of a DC Power Generator on the Microstructural and Mechanical Properties of Sputtered AlN Film with In-Situ OES Data Analysis

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标题	Impact of Pulse Parameters of a DC Power Generator on the Microstructural and Mechanical Properties of Sputtered AlN Film with In-Situ OES Data Analysis
网址	https://www.mdpi.com/1996-1944/16/8/3015/pdf
DOI	10.3390/ma16083015 doi
其它	期刊：Materials 作者：Wei-Yu Zhou; Hsuan-Fan Chen; Xue-Li Tseng; Hsiao-Han Lo; Peter J. Wang; et al 出版日期：2023-04-12
求助人	美好的访冬在 2026-05-20 16:48:06 发布自北京，悬赏 10 积分
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