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标题
A Detailed Chemical Model for the Diffusion of Phosphorus Into the Silicon Wafer During POCl3 Diffusion
网址
DOI
10.1109/JPHOTOV.2020.3038331 doi
其它 期刊:IEEE Journal of Photovoltaics
作者:Philip Jager; Verena Mertens; Ulrike Baumann; Thorsten Dullweber
出版日期:2021
求助人
淡然的芷荷 在 2026-03-27 23:01:16 发布自浙江,悬赏 10 积分
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