A Detailed Chemical Model for the Diffusion of Phosphorus Into the Silicon Wafer During POCl3 Diffusion

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标题	A Detailed Chemical Model for the Diffusion of Phosphorus Into the Silicon Wafer During POCl3 Diffusion
网址	https://doi.org/10.1109/JPHOTOV.2020.3038331
DOI	10.1109/JPHOTOV.2020.3038331 doi
其它	期刊：IEEE Journal of Photovoltaics 作者：Philip Jager; Verena Mertens; Ulrike Baumann; Thorsten Dullweber 出版日期：2021
求助人	淡然的芷荷在 2026-03-27 23:01:16 发布自浙江，悬赏 10 积分
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